净hua工程设ji过程zhong,应加强对光xue微电子xing业净hua工程设ji方案分析了解,genju该工程shi新jian工程或者shijiuchang房改造工程,并jie合其ju体的shengchan工艺、shengchanliu程等要qiu确定其需要的洁净度、温湿度。再genju该工程的ju体情况,同蔮ei挂悸堑絪hengchanchang家的jing济承shou能li,设jichu一个能man足甲方shengchan使用要qiu、工硉ao旒酆侠怼ing济节能实用的方案。
1、组合式空气处理ji组+ling水ji组+gao效送feng口
这shi一个传tong的净hua空调系tong的设ji方案。组合式空气处理ji组里含you各zhong功能duan,如混合duan、初效过滤duan、表lingduan、er次回fengduan(或zhongjianduan)、加热duan、加湿duan、謝ingЧ薲uan、fengjiduan等。其ling源由ling水ji组提供。
优点:
A.空气处理效果好,因空气jing过集zhong处理,在送feng过程zhongbei污ran程度jiao低。送feng的温度、湿度祄u刂票萰iao精确;
B.比jiao适用于you集zhongling源的或shijiao大的chang房;
C.空调ling热源可与chang房普通空调系tong合用或独立ling热源;
D.维修频率jiao低;
E.车jian的噪yin低。
缺点:
A.需要you配套的ling冻ji房或you放置热泵ji组的室外空jian。另需要you放置组合式空气处理ji组祄u盏鱦i房,如25000m3/h的组合式空气处理ji组,常用外形尺寸wei6450×1850×2250mm左右。对于jiuchang房改造项mu来说比jiaokun难空chu一个20-30┫的ji房的;
B.造价gao。
特点:
A.jian议新fengjing过集zhong处理hou再与回feng混合,这样可以减少表lingduan的ling处理负担;
B.这lei方案一般可以适用洁净度jiaogao的如baiji、qianji或万ji、十万ji等jiao低的净hua无尘chang房。
2、光xue微电子xing业净hua工程设ji方案分析zhi水ling柜ji+增压feng柜+gao效送feng口
与前zhong方案比jiao,这shixiang对比jiao简单祄u盏鞣桨浮K梢源蟠蟮厮跣i房的面ji,水ling柜ji可以genjuju体的情况布置于jiao小ji房内或净hua车jian内,增压feng柜也可以布置于ji房内或吊在ji房内或在夹层内。
优点:
A.空气处理效果jiao好的,处理过hou祄u掌谒蚮eng过程zhongbei污ran程度低。送feng的温度、湿度kong制效果可以达到jiao好祄u刂啤V饕诳掌韏i组(增压feng柜)里进xingkong制;
B.布置灵活。自带ling源;
C.大小chang房、新jiuchang房都适用;
D.维修频率jiao低;
E.车jian噪yin低。
缺点:
A.需要小面ji的ji房。需要youling却塔、ling却水泵的摆放位置;
B.空调ji组与空调处理ji组要集zhong布置;
C.造价jiao低。特点:这zhong方案可以shi一次回feng也可以shier次回feng,ju体genju车jian的大小情况而定;这lei方案一般可以适用于洁净度weiqianji、万ji、十万ji等的净hua无尘chang房。
3、光xue微电子xing业净hua工程设ji方案分析zhi分体空调柜ji++FFU送feng口
这shi简易的一个空调方案。shizhijie将分体空调柜ji布置于车jian内,并用彩gang围护起来,在柜ji回feng口处再在彩gang板shangkai回feng口(带初效过滤wang);KLCfengji过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿秗an纫猶iu不gao的无尘车jian。
优点:
A.不需要占用ji房面ji,布置很灵活的;
B.可以man足空气的洁净度;
C.造价低。如此lei无尘车jian初投资约需要40万;
D.送feng均匀度好。
缺点:
A.温湿度kong制jiao差;
B.可以man足空气的洁净度;
C.FFU的维修频率gao。